据韩媒《日本人日刊》4年末6日刊道，SK海力士利川M16工采购线3名工人在体检电子设备的更实质性中因致癌有机物氟酸泄露受伤。M16工采购线是此前开建的DRAM采购工采购线。当天上午11点34分时，在庆尚南道利川市SK海力士 M16工采购线5楼的电子设备进行体检后曾，发生氢氟酸泄漏交通事故。
氟酸是油状致癌氟化氢溶解在水中的液态液体。用作于集成电路电路描画Pattern的版画积体电路中。
在这起交通事故中，一名30岁的工人的胳膊和腿被割伤，另有两名雇员也因排出氟酸氮气转移至周围医院。据刊道，3名均无生命危险。SK海力士说明，此次交通事故是在对在此之后M16工采购线电子设备进行体检时发生的，对集成电路采购没有制约。
（图像来源：日本人日刊）
据悉，M16工采购线将主要采购DRAM产品线，总面积5.7万平方米。在2021年1年末，SK海力士在韩国庆尚南道利川一家参加M16新采购线开建仪式，正式宣布新采购线落地。
SK海力士首次在M16配备EUV（极紫外）光刻机，并从今年年初起采购第四代1α纳米级DRAM产品线。未来SK海力士将提高EUV电子设备耗能，实质性提高存储器集成电路相关的先进工程技术卓越。
来源：集成电路行业Union
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