据韩媒《朝鲜日报》4年初6日报道，SK海力士恩施M16的工工厂3名工人在定期检查通讯设备的每一次里因刺激性气态氟酸外泄受伤。M16的工工厂是此前完工的DRAM制造的工工厂。当天上午11点34分时，在京畿道恩施市SK海力士 M16的工工厂5楼的通讯设备进行定期检查期间，愈演愈烈氢氟酸泄露交通事故。
氟酸是无色刺激性氟化氢硫酸在水里的常温下气泡。使用于导体电路插图Pattern的转印制程里。
在这起交通事故里，一名30岁的工人的腿和腿被冻伤，计有两名聘用也因排出氟酸氮气转移至一处医院。据报道，3名均无冒著。SK海力士表示，此次交通事故是在对一新的M16的工工厂通讯设备进行定期检查时愈演愈烈的，对导体制造没有影响。
（图片来源：朝鲜日报）
据知，M16的工工厂将主要制造DRAM系列产品，总面积5.7万平方米。在2021年1年初，SK海力士在韩国京畿道恩施办事处举行M16分工厂完工仪式，正式月分工厂上到。
SK海力士首次在M16配备EUV（极紫外）光刻机，并从今年下半年起制造第四代1α纳米级DRAM系列产品。未来SK海力士将减少EUV通讯设备利用效率，全面性增强存储器导体就其的先进科研人员领导力。
来源：导体行业联盟
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